精密LCR数字电桥的结构及工艺
点击次数:980 更新时间:2021-11-25
精密LCR数字电桥的概念数字电桥就是能够测量电感,电容,电阻,阻抗的仪器,这是一个传统习惯的说法,早期的阻抗测量用的是真正的电桥方法,随着现代模拟和数字技术的发展,早已经淘汰了这种测量方法,但LCR电桥的叫法一直沿用至今。如果是使用了微处理器的LCR电桥则叫LCR数字电桥。一般用户又称这些为:LCR测试仪、LCR电桥、LCR表、LCRMeter等等。
精密LCR数字电桥的结构:
1.测试夹:被测元件由此接入;
2.读数显示器:测量值由4位7段LED显示器显示;
3.量程指示:显示被测量的单位(单位右侧的小方块为红色LED指示灯);
4.功能控制按键:测量控制按键由6个功能键组成(每个按键内的小方块为红色LED指示灯);
5.电源输入插座;
6.电源开关。
精密LCR数字电桥工作原理数字电桥的测量对象为阻抗元件的参数,包括交流电阻R、电感L 及其品质因数Q,电容C及其损耗因数D。因此,又常称数字电桥为数字式LCR测量仪。其测量用频率自工频到约100千赫。基本测量误差为0.02%,一般均在0.1%左右。这种特殊的蚀刻技术可选择性地从晶圆的背面除去一部分硅,从而生成由坚固的硅边框包围的、数以百计的方形薄膜。而在晶圆的正面,每一个小薄膜的每个边上都植入了一个压敏电阻,用金属线把小薄片周边的四个电阻连接起来就形成一个惠斯登电桥。使用钻石锯从晶圆上锯下各个传感器。这时,硅传感器已经初具形态,但还需要配备压力端口和连接引线方可使用。